引起激光干涉仪测量误差的原因分析

本文摘要：激光干涉仪是精度最低的线性偏移测量仪器，其光波可以必要对米展开定义，可本源至国家标准。但是我们在用于中往往不会经常出现检测背离值，背离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生猜测。 今天我们来鸡一鸡引发激光干涉仪测量误差的部分原因。1、阿贝误差因测量光学镜组的加装高度不出被测设备的运动轴上引发的测量误差称作阿贝误差。产生的原因是设备移动时不存在转动、扭摆劣，因此光学镜组与运动轴偏置距离越大，引发的阿贝误差越大。

激光干涉仪是精度最低的线性偏移测量仪器，其光波可以必要对米展开定义，可本源至国家标准。但是我们在用于中往往不会经常出现检测背离值，背离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生猜测。

今天我们来鸡一鸡引发激光干涉仪测量误差的部分原因。1、阿贝误差因测量光学镜组的加装高度不出被测设备的运动轴上引发的测量误差称作阿贝误差。产生的原因是设备移动时不存在转动、扭摆劣，因此光学镜组与运动轴偏置距离越大，引发的阿贝误差越大。角度、偏置距离引发的误差表格（单位：um）下诏可得：角度1″在500mm偏置距离下引发的误差约是2.40um。

来个实际案例：以检测机床时有所不同加装高度为明确解释。

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